Vacuümverchromen Ion Beam DLC

Vacuümverchromen Ion Beam DLC

Ionenbundel DLC: Het koolstofgas wordt in de ionenbron geïoniseerd tot plasma, en onder de gecombineerde werking van het elektromagnetische veld geeft de ionenbron koolstofionen vrij. De energie van de ionenbundel wordt geregeld door het aanpassen van de spanning die op het plasma wordt aangelegd. Een straal koolwaterstofionen wordt op het substraat gericht en de afzettingssnelheid is evenredig met de ionenstroomdichtheid. De ionenbundelbron van de sterboogcoating gebruikt een hoge spanning, dus de ionenenergie is groter, waardoor de film en het substraat goed binden; de ionenstroom is groter, waardoor de afzettingssnelheid van DLC-film sneller wordt. De belangrijkste voordelen van ionenbundeltechnologie zijn de afzetting van ultradunne en meerlaagse structuren, procescontrolenauwkeurigheid van verschillende angstroms en het minimaliseren van defecten veroorzaakt door deeltjesverontreiniging tijdens het proces.

PVD-technologie van Star Arc-coating bij vacuümverchromen

Verbeterde magnetronkathodische boog: De kathodische boogtechnologie is bedoeld om het doelmateriaal in een ionische toestand te ioniseren door middel van lage spanning en hoge stroom onder vacuümomstandigheden, waardoor de afzetting van dunne filmmaterialen wordt voltooid. De verbeterde magnetronkathodische boog maakt gebruik van de gecombineerde werking van het elektromagnetische veld om de boog op het oppervlak van het doelmateriaal effectief te controleren, zodat de ionisatiesnelheid van het materiaal hoger is en de filmprestaties beter zijn.

Filterende kathodische boog: De filterende kathodische boog (FCA) is uitgerust met een efficiënt elektromagnetisch filtratiesysteem, dat de macroscopische deeltjes en ionenclusters in het plasma kan filteren dat door de ionenbron wordt gegenereerd. De ionisatiesnelheid van de afgezette deeltjes na magnetische filtratie is 100 procent. Bovendien kunnen grote deeltjes worden uitgefilterd, dus de voorbereide film is zeer dicht, vlak en glad, heeft een goede corrosieweerstand en heeft een sterke bindingskracht met het lichaam.

Magnetronsputteren: In een vacuümomgeving wordt het doel, door de gecombineerde werking van spanning en magnetisch veld, gebombardeerd met geïoniseerde inerte gasionen, waardoor het doel wordt uitgeworpen in de vorm van ionen, atomen of moleculen en op het substraat wordt afgezet in de vorm van een dunne film. Afhankelijk van de gebruikte ionisatiekrachtbron kunnen zowel geleidende als niet-geleidende materialen als doelwitten worden gesputterd.

www.superbheater.com