Lokale stroomconcentratie in vacuümcoatingmachine
Laat een bericht achter
Lokale stroomconcentratie in vacuümcoatingmachine
Het uitgeworpen deel van het punt met hoge elektronendichtheid zal een stroom met hoge dichtheid genereren, en de stroom met hoge dichtheid kan Joule-warmte genereren en ervoor zorgen dat de temperatuur van het punt blijft stijgen, waarbij hete elektronen worden uitgezonden. Dit fenomeen resulteert in een plaatselijke stroomconcentratie.
De joule-warmte die wordt gegenereerd door de plaatselijke concentratie van de stroom kan enorme ionen- en elektronenemissie van het kathodemateriaal veroorzaken, waardoor gesmolten kathodemateriaaldeeltjes vrijkomen en ontladingssporen achterblijven.
Een deel van de ionen in een groot aantal uitgeworpen ionen wordt teruggezogen naar het oppervlak van het kathodemateriaal om de ruimteladingslaag en het sterke elektrische veld te regenereren, en het nieuw gegenereerde punt met een kleine werkfunctie zal weer elektronen gaan uitzenden .
Elektronen worden uitgezonden door korrelgrenzen van vacuümcoaters
Metaalionen worden aangetrokken door het oppervlak van de kathode en kunnen een ruimteladingslaag genereren. Het sterke elektrische veld dat gedurende deze tijd wordt geactiveerd, zorgt ervoor dat elektronen worden uitgeworpen uit microscheuren of korrelgrenzen met een kleine werkfunctie op het kathodeoppervlak.
Vacuümbinnenwand en doelbronanode van vacuümcoatingmachine
Na vele botsingen neemt de energie van de elektronen geleidelijk af, raakt de ketenen van de magnetische veldlijnen kwijt en valt uiteindelijk op het substraat, de binnenwand van de vacuümkamer en de anode van de doelbron. Onder de versnelling van het elektrische hoogspanningsveld botsen de Ar plus ionen met het doel en geven energie vrij, waardoor de atomen op het oppervlak van het doel de kinetische energie van de Ar plus ionen absorberen en loskomen van het oorspronkelijke rooster, en de neutrale doelatomen ontsnappen uit het oppervlak van het doel. Vlieg naar het substraat en deponeer een dunne film op het substraat.
www.superbheater.com
