Verdamping van een vacuümcoatingmachine is een belangrijk proces
Laat een bericht achter
Verdamping van een vacuümcoatingmachine is een belangrijk proces
De kenmerken van de filmdikteregeling van de EI-5Z-elektronenstraalcoater worden geanalyseerd. Met behulp van experimentele resultaten en theoretisch onderzoek werd een meer praktische aanpassingsplaat herontworpen en werden betere filmprestaties verkregen: de afwijking binnen het substraat was binnen ±3 procent en de afwijking tussen dezelfde batch substraten lag binnen het bereik van ±5 procent binnen. Voldoen aan de eisen van massaproductie.
Bij de productie van halfgeleiders is verdamping een belangrijk proces. De nauwkeurigheid van de controle van de laagdikte is een belangrijke indicator om het verdampingseffect te meten, dat rechtstreeks van invloed is op het daaropvolgende productieproces en de prestaties van het eindproduct. Bij massaproductie wordt enerzijds de nauwkeurige meting van de filmdikte benadrukt en anderzijds de uniformiteit van de filmdikte, dat wil zeggen de verandering van filmdikte met het oppervlak van het substraat en de verandering van filmdikte tussen substraten op verschillende posities op het rek— Er worden ook hoge eisen gesteld.
Het basisprincipe van verdamping van een vacuümcoatingmachine
Verdamping is de oudste techniek in de methode voor het afzetten van dunne films onder vacuümomstandigheden. In de loop van de tijd is het in veel toepassingen geleidelijk vervangen door andere methoden, zoals SPUTERRING of PECVD, maar wanneer grote oppervlakken een snelle depositie van dunne films vereisen, is verdampingstechnologie nog steeds de meest gebruikte en economische oplossing.
Het technische principe van verdamping is heel eenvoudig. De te verdampen substantie (verdampingsbron) wordt in een specifieke container (smeltkroes) geplaatst in een specifieke kamer waar de verdampingsoperatie zal worden uitgevoerd, en verwarmd tot een bepaalde temperatuur onder vacuümomstandigheden. Er zijn twee methoden om het verdampte materiaal te verwarmen, door een elektronenstraal die wordt opgewekt door een geïnduceerd magnetisch veld, of door weerstandsdraadverwarming. In het deel van de verdampingskamer dat niet wordt beschermd door de sluiter, zullen de verdampte stoffen zich op het oppervlak afzetten en een dunne film vormen.
www.superbheater.com
